好处

· 降低成本

· 制程气体分配系统快速达标

· 监测气体中的粒子变化，以防影响产量

· 系统配置两套设备：采样传感器和数据系统

· 改善制程控制

· 规格验证

· 检测制程干扰

· 量化系统变化造成的影响

· 精确测量粒径

· Facility Net软件的数据管理系统具有全面的数据储存、管理、报告、报警等功能

· 可靠性高

· 无源腔设计，无需频繁维修保养

· 无需流体即可完成监测，这是其它系统所不具备的优点

· 以管线气压采集加压惰性气体样本

应用

· 气体分配系统规则达标

· 监测制程气体